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圆片生产线图形测量的应用分析图像www.w88981.com,优德官方网站




来源:yiyi
时间:2018-9-30 23:59:23

圆片生产线图形测量的应用分析图像www.w88981.com,优德官方网站

    图形测量的应用
    众所周知,在掩膜制备中,当需要进行大量的测试时,测试设备本身
的可靠性和精度就显得十分重要。我们已经讨论了图形测量的基本应用,
也即对掩膜图形尺寸的测量。掩膜制备车间在完成自己的所有工艺步骤之
后,必须检查掩膜版上图形的临界尺寸,然后才能交付绐圆片生产线。

在圆片生产线中,必须对掩膜版图形的临界尺寸进行第二次检查,才能将掩
膜版用到光刻机上进行对准曝光。圆片显影后,还需对光刻胶图形进行测
量。假如光刻胶图像尺寸的误差超出规定范围,那么有问题的掩膜版还需
再次检查,而圆片则要再次成像并再次测量临界尺寸。集成电路制成后,
经过终端的电气测试方能确定图形尺寸是否正确。

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