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来源:yiyi
时间:2018-12-24 1:03:33

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  随着化学微系统的发展,采用集成技术,将以氧化物陶瓷为主的功能材
料集成到Si基板上,用以提高传感器或驱动器的传感功能,这一方法已引
起了大家的广泛关注。最近,微系统不仅应用在脉冲加热、瞬态分析、具
有自清洁工艺的炉型微气体传感器上,而且在微电子学的低功耗、集成方
式及可靠性等方面也有拓展研究。然而,从标准互补金属氧化物半导体(CM
OS)技术一溅射和气相化学沉积(CVD)中,并不能经常获得此功能材料。在
这种情况下,传感器材料往往是单独获得的,需要采用如微系统中“活性
层”这样的新技术来实现传感器材料的制备。

    对于微型气体传感器来说,一少部分科学技术团体认为可以用一些典
型的化学途径来实现,如传统的化学沉积或者溶胶一凝胶方法,具有灵敏
度高、可控性好的优点并且用可用量产的粉末材料来代替通过真空系统获
得的薄膜材料。在这些化学反应方法中.往往通过制作粉末状功能材料来
获得所需的相关功能,但这样会增加处理时间,同时成本也依赖于沉积的
设备以及方式。此外,传感器或驱动器也可通过一种叫作微缩印刷的技术
来制作,即在微型装置上涂布预先处理的陶瓷材料来进行制造,这种方法
也在别的文献中有所叙述。与此同时,应先将功能材料与有机载体相结合
,再通过传统的丝网印刷或者更加复杂的滴沉积技术(如墨水喷射系统)来
制作功能薄膜。最近的研究报告表明采用沉积技术成功制造出了纳米尺度
的陶瓷触媒转化器粒子,它可应用在气体传感器方面。该方法是一种简单
、快速的制备方法,且不需要进一步的高温热处理。
    简而言之,就是将微型陶瓷模块组合到一块双面抛光的si基板上。

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