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有机集成芯片微电路和微机械焊接工业www.w88981.com,优德官方网站




来源:yiyi
时间:2018-1-21 19:23:05

有机集成芯片微电路和微机械焊接工业www.w88981.com,优德官方网站

    发展微机电系统的途径和技术条件的不同,才出现了上述不同
的定义形式。
    那么该如何定义MEMS呢?我们认为定义MEMS应从尺寸和功能两
个方面出发,而不应限定于任何制作工艺或材料,因为MEMS的工艺
技术是不断发展和完善的,制作MEMS的材料也是多样的。
    因此我们认为微机电系统的定义和内涵是:采用微机械和微电
子加工方法,把微电路和微机械按功能要求有机集成在芯片上,关
键尺寸通常在亚微米至亚毫米范围内,集微机械、微执行器以及信
号处理和控制、接口、通信和电源等于一体的可批量制作的自动化
和智能化的微系统。它的基本特征是微型化、多样性和特有的微电
子技术。
    随着社会的进步和人们需求的日益增长,尤其是战争的需求,
许多方面都在期待着微机电系统的出现。迫使人们用新的观点,综
合应用不同学科中的先进技术,为需求目标服务。
    微机电系统由于尺度小、集成度高、功能灵活而强大,使人类
的操作、加工能力延伸到微米级空间,也使其成为21世纪最富于挑
战性的科学技术领域之一。这种技术跨越将深刻影响国防科学技术
和国民经济的发展,它将使未来战争改变面貌。同时作为新兴的高
技术产业,微机电系统已经成为各国政府竞相争夺的技术制高点。

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