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来源:yiyi
时间:2018-10-1 23:14:43

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   检验
  检验是一个技术不断一更新灼领域,不断翻新的自动检验设备正应用于F
I益增多的掩膜检验。掩膜的面积越来越大,图形变得越来越复杂,为了保
证集成电路器件的高成品率,必须改进掩膜质量。而为了保证质量,首先
需要严格的检验,在发现缺陷、确定缺陷来源、纠正缺陷、改进可能发生
缺陷的那部分工艺等等的所有环节中,都少不了检验。随着集成电路功能
的发展,每一个集成电路芯片的面积越来越大,这也是造成掩膜或圆片上
缺陷增多的原因之一。对同样大小的掩膜来说,.当每一块芯片的面积增
大,而每一块掩膜版上芯片减小时,其缺陷的统计百分比将增加。

    在将掩膜投入圆片生产线之前,必须通过检验来筛选出有缺陷的掩膜
版,否则,一旦有缺陷的掩膜版进入圆片生产线中,将造成时间和材料的
极大浪费。这种缺陷不仅出现在掩膜图形中,还可能出现在掩膜的复盖层
中或基板中,有些缺陷是完全可以避免的。
    缺陷
    掩膜检验可以按缺陷的类型进行分类。最基本的缺陷是图形区内的缺
陷,它可以是随机出现的,也可以是重复出现的。检验人员以及自动检验
设备通常可以检查出缺陷或缺陷的规律性,假如缺陷确实存在规律性的话
。比较粗糙的125至500倍的截面www.w88981.com,优德官方网站通常足以看出这类问题。当掩膜版
的尺寸较大而100%的图形需要检验时,就必须使用自动检验设备。

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