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设计精密微机械电子技术-用于微零件的软件应用




来源:yiyi
时间:2017-6-12 22:09:38

设计精密微机械电子技术-用于微零件的软件应用

    ·能够提供高效的用于微零件的软件开发工具;在计算机上完
成结构的开发、模拟和优化,避免不必要的过程;
    ·将计算机上设计的结构通过光刻法传送到基底上,充分利用
组装密度高的优势,减小结构的尺寸;
    ·通过对生产过程的精确监控,大大缩小批量制造的误差范围

    ·研发几种设计精密的基本结构,这些结构应具备组装密度高
、结构微小的优点,以便在相同的基底上可以有效地扩展,并且通
过米用合适的连接技术司以集成为一个智能化系统,这种方法将导
致传感器和执行元件设计思想的根本变化,进而会影响到精密工程
和机械工程的发展。
    尽管微结构技术与微电子技术的生产过程紧密相关,但是仍需
要研究将微结构发展到三维的方法
    硅材料微机械技术,在任何一方面都依赖于微电子技术。二者
不仅具备相似的制造过程,而且单晶硅同时也是微结构的基本材料
。,通过各向异性的蚀刻过程得到三维结构,在该过程中可以将单
晶硅乎整为要求的形状,利用特殊的蚀刻方法,对应晶体的结构,
从单晶硅上各向异性地去除材料。
    利用硅氧化物或硅氮化物掩模,对部分硅表面进行蚀刻,不同
的晶体表面以不同的速度蚀刻。晶体中可以加入人工层作为附加的
蚀刻阻塞层。利用合适的掩模、蚀刻阻塞层,采用各向同性和各向
异性的蚀刻方法,可以将硅片制成三维结构,从而形成传感器或其
他任何元件的基本组成结构。硅材料微机械技术的独特优势在于,
可以在同一基底上安装微结构体(比如传感器结构)和适当的计算电
路。

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