www.w88981.com,优德官方网站金相www.w88981.com,优德官方网站 上海光学仪器厂- 研发专家

SiteMap:XML Html urllist 招聘 客服 地图 销售热线:010-64034191
www.w88981.com,优德官方网站|金相www.w88981.com,优德官方网站|测量投影仪等光学仪器专业提供商-上海光学仪器厂
网站www.w88981.com
企业介绍
新闻中心
企业产品
客户留言
相关下载
w88981
付款方式

微机电制程技术制造应用-芯片制程检测www.w88981.com,优德官方网站




来源:yiyi
时间:2013-9-18 17:11:30

(版权由上海光学仪器厂所有, 未经允许禁止复制,转载注明我厂网址)

微机电制程技术制造应用-芯片制程检测www.w88981.com,优德官方网站

运用微机电制程技术制造应用于水下环境之水下声响微感测器。
感测器主要结构为配合微机电制程里的面型加工技术所制作出的感测薄膜,
并在薄膜的感测面铺上适当的压阻材料。其运作原理为利用结构本身具有自然振频之特性,
在接受与结构自然振频接近的特定频率声波时,感测器输出讯号会产生较高的讯杂比,
 借助此接收声波所传递之讯号内容。 在制程规划上共有两种制程,一种是以SOI芯片为基底的制程,一种则是以六吋单晶硅芯片为基底的制程
。其差别在于使薄膜悬浮的方式,SOI芯片制程是以浸泡氢氟酸蚀刻牺牲层使薄膜悬浮,
六吋单晶硅制程则是采用背后蚀刻使薄膜悬浮。SOI芯片制程由于浸泡氢氟酸时发生电化学反应使压阻遭受破坏,
而单晶硅芯片制程则透过背后蚀刻深度精准的控制,蚀刻出适当厚度之感测薄膜,
成功完成感测器的制程。完成后进行感测器封装,制作出适合水下环境使用之感测器,
最后并经由各式声学实验设备探讨声响感测器之特性以作为感测器应用之参考。
在空气与水中的测试,感测器成功量测声波讯号,其讯号与越接近感测器共振频率频响反应越佳之趋势相符,
并量测出感测器薄膜之自然振频。

  
合作站点:http://www.xianweijing.org/    
金相www.w88981.com,优德官方网站 丨
上海光学仪器厂_ @2007  上海永亨光学仪器 SiteMap
工信部备案号:京ICP备11022359号-4-丨- 北京市东城分局备案编号:11010102000203
客服QQ:1552941007(上海) 2458192815 824593962(北京)  E-mail:shgjk@163.com  TEL:010-64034191 84021761 021-55228110 55228660


推荐使用800*600以上分辨率浏览光学仪器产品以及参数
上海永亨光学仪器制造有限公司
上海光学仪器一厂_上海光学仪器厂
版权所有 未经允许禁止任何人复制,转载本站www.w88981.com,优德官方网站以及光学www.w88981.com,优德官方网站产品以及参数信息